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ISO14644-1

FED STD 209E

CLASS

Number of Par Cubic Meter by Micrometer Size

ISO Class

English

Metric

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

0.5um

5um

m3

m3

m3

ft3

m3

1

ISO1

2

ISO2

4

3

1

M1.5

1SO3

35

4

10

M2.5

ISO4

10

353

5(百級(jí))

100

M3.5

ISO5

100

3,530

29

6(千級(jí))

1,000

M4.5

ISO6

1000

35,300

293

7(萬級(jí))

10,000

M5.5

ISO7

10000

353,000

2,930

8(十萬級(jí))

100,000

M6.5

ISO8

100000

3,530,000

29,300

9

ISO9

1000000

35,300,000

293,000

潔凈度級(jí)別

塵埃允許數(shù)/立方米

微生物大允許數(shù)

≥0.5um

≥5um

浮游菌個(gè)/立方米

沉降菌個(gè)/皿.30min

100

3500

0

5

1

10000

350,000

2,000

100

3

100000

3,500,000

20,000

500

10

300000

10,500,000

61,800

NA

15

空氣潔凈度等級(jí)(N)

大于或等于表中粒徑的大濃度限值(pc/m3)

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

1

2

4

3

35

8

4（十級(jí)）

352

83

5（百級(jí)）

3520

832

29

6（千級(jí)）

35200

8320

293

7（萬級(jí)）

352000

83200

2930

8（十萬級(jí)）

3520000

832000

29300

9（一百萬級(jí)）

35200000

8320000

293000