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為什么半導(dǎo)體無塵室都使用黃光燈?
日期:2024/5/7 | 瀏覽次數(shù):2394
近年來,隨著人工智能等高科技的發(fā)展,全球?qū)Π雽?dǎo)體芯片的需求猛增。美國一直試圖對中國進行半導(dǎo)體技術(shù)封鎖,而中國也一直在默默發(fā)展實力的道路上。中國電子半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)離不開無塵室(潔凈室),這其中半導(dǎo)體無塵室(潔凈室)與其他無塵室不同的是,都會使用一種黃光燈。

首先,在半導(dǎo)體芯片制造的過程中,包括氧化、粒子注入、光刻、蝕刻、薄膜等工序,這其中,光刻是非常重要的一個步驟。光刻并不是真正的刻在晶圓上,而是一種微影制程。原理就是在晶圓上涂上光阻,然后罩上帶有電路圖的光罩,通過紫外光的照射,微縮復(fù)制蝕刻。在這個過程中,對光線的波長非常敏感,因為不同波長的光線會影響圖案轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性和分辨率。


無塵室,潔凈室


其次,選擇黃光燈,是因為黃光的波長對光阻劑的敏感性比較低,因此不會干擾光阻劑的曝光過程。此外,黃光也不會像其他顏色的光那樣容易引起金屬表面的反射或者眩光,這有助于維持半導(dǎo)體芯片制造的精確性和一致性。此外黃光對人眼刺激較小,人員長期在半導(dǎo)體無塵室內(nèi)工作,可以減少眼部疲勞。


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