萬級模塊化潔凈室和國際標(biāo)準(zhǔn)ISO7級是潔凈室分類中的兩個重要概念。那么,萬級模塊化潔凈室和國際標(biāo)準(zhǔn)ISO7級到底是相同還是有所區(qū)別呢?讓我們來詳細(xì)探討一下。
萬級模塊化潔凈室屬于美國聯(lián)邦209E的標(biāo)準(zhǔn),目前已經(jīng)廢除,但是在中國仍然通用,大家在談?wù)摰臅r候也能夠明白其含義。而國際ISO14644-1是新使用的標(biāo)準(zhǔn),他有1-9個級別。兩個級別雖然能近似對標(biāo),但使用的單位不同,具體階潔凈等級控制的微粒子規(guī)格也不同。

209E的萬級對應(yīng)的是ISO14644的7級。萬級需要控制的微粒子有兩種,一個是0.5μm,一個是5.0μm。在模塊化潔凈室里1立方英尺(ft3)范圍內(nèi),0.5μm的微粒子要在1萬個以下,5.0μm的微粒子要在70個以下。而國際ISO14644標(biāo)準(zhǔn)要控制的微粒子有3種,包括0.5μm,、1.0μm、以及5.0μm。1立方米范圍內(nèi),5.0μm的微粒子要子啊35.2萬個以下,1.0μm的微粒子要在83200個以下,5.0μm的微粒子要在2930個以下。相比較之下,國際ISO14644標(biāo)準(zhǔn)還是要嚴(yán)格一點。
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