首先,模塊化潔凈室內(nèi)潔凈度的檢測(cè)。檢測(cè)點(diǎn)為風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU的高 效過濾器正下方、距離地面800-1200mm,距離側(cè)壁500mm以上。按照美國聯(lián)邦209E標(biāo)準(zhǔn),檢測(cè)的容積單位均為立方英尺(ft³)。例如潔凈等級(jí)為萬級(jí)的模塊化潔凈室(無塵室),1立方英尺(ft³)內(nèi)0.5μm的塵埃粒子數(shù)為1萬個(gè),其他規(guī)格的塵埃粒子數(shù)量,也有不同的規(guī)定。測(cè)試結(jié)果均需要在規(guī)定范圍之內(nèi)。模塊化潔凈室(無塵室)潔凈度的檢測(cè)也可以通過有規(guī)律掃描檢測(cè)的方式來獲取數(shù)據(jù),如遇到數(shù)據(jù)波動(dòng)異常的點(diǎn),再通過定點(diǎn)詳細(xì)檢測(cè)的方式來獲取數(shù)據(jù)。為確保模塊化潔凈室(無塵室)里檢測(cè)數(shù)據(jù)的客觀及真實(shí)性,測(cè)試環(huán)境內(nèi)的人員數(shù)量為1-2人,塵埃粒子計(jì)數(shù)器在每個(gè)點(diǎn)位需要靜置5分鐘后,再開始才采樣。
其次,是風(fēng)速的檢測(cè)。用風(fēng)速儀在高 效過濾器正下方15mm處,每間潔凈室至少測(cè)4個(gè)點(diǎn)。合格指標(biāo)為0.45m/s±20%。
第三,噪聲的檢測(cè)。用噪音計(jì)在高 效過濾器正下方、距離地面1.2米處,正好是人的耳朵位置,參考值一般是68dB以內(nèi)或按設(shè)計(jì)要求。為了體現(xiàn)數(shù)據(jù)的科學(xué)性,應(yīng)在相對(duì)安靜的環(huán)境下測(cè)試,必要時(shí)區(qū)分環(huán)境噪音。模塊化潔凈室一般記錄分散三點(diǎn)的書之后取平均值。
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