潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,即人、機器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。潔凈棚氣流會受哪些因素的影響?怎么避免呢?
影響因素
1、一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點,應設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時,氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方,將成為不當?shù)臍饬鞣至鳎藭r大部份的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。
2、整理室內(nèi)的運作桌等障礙物,在相接處均會有渦流表象發(fā)作,相對地在其鄰近之整理度將會較差,在運作桌面鉆上回風孔,將使渦流表象削減至低;拼裝資料之挑選是不是恰當、設(shè)備規(guī)劃是不是完善,亦為氣流是不是變成渦流表象之重要要素。
3、潔凈棚能較快組成的簡便整理室,其具有裝置、施工周期短、價錢低廉、移動便利等特點,把要出產(chǎn)工序控制在較小的環(huán)境內(nèi)也是整理室設(shè)計的挑選。
4、風機從FFU頂部將空氣吸入,經(jīng)初效過濾器過濾,過濾后的整理空氣在出風面以0.45m/s±20%的風速勻速送出到棚內(nèi)。構(gòu)成均流層,使整理空氣氣流呈筆直單向流,然后保障了運作區(qū)內(nèi)所需求的整理度。
5、影響無塵設(shè)備的氣流要素很多,如制程設(shè)備、人員、整理室拼裝材、照明器具等,一起關(guān)于出產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點,亦應列入思考要素。
避免氣流影響的方法
風速的控制潔凈棚內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選0.25——0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區(qū)域,易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可壓制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高,將影響運轉(zhuǎn)成本的增加,所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,能以0適當?shù)娘L速供應,以達到適當?shù)娘L速供應以達到經(jīng)濟性效果。
另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁面,氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流須:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風速均取在0.25——0.5m/s之間。